保存光刻掩模

Erikve · 发表于 2022-7-7 19:33:32

尊敬的各位：，

我在Autocad中设计了一个具有微米大小结构的光罩。我尝试将其保存到DWX（或者更好地保存到CIF，但这在autocad中不直接可行），在那里，mask maker可以处理它。然而，无论我尝试什么，如果我尝试在illustrator、Clewin等其他程序中打开它，结构似乎会消失。我认为我应该以不同的方式保存它，以便保存更详细的内容，但我找不到如何保存。有人有主意吗？

我插入了外部块，看起来它不识别这些，我需要以某种方式链接它吗？

提前感谢！

埃里克

ReMark · 发表于 2022-7-7 20:03:30

保存选项仅限于DWG和DXF。导出下的一个选项是DWFX。这样行吗？

至于你说的这些外部块，它们是DWG文件吗？链接什么到什么？我不明白你的问题。欢迎提供更多细节。

Erikve · 发表于 2022-7-7 20:04:37

原则上我不局限于储蓄。我只想以一个CIF文件结束，在那里我可以看到千分尺的结构。这个DWFX我试过了，但也提供了一些垃圾图片，其中有很多抽屉中的数字丢失了。

我没有直接在遮罩中绘制所有图形，而是通过导入另一个DWG文件导入它们。这使得导入文件的一个块在某些程序中仅显示为名称，这可能意味着我必须以某种方式链接到此文件。

ReMark · 发表于 2022-7-7 20:25:35

对不起，我不知道如何从DWG格式转换为CIF文件格式，同时又不丢失一些东西。

CyberAngel · 发表于 2022-7-7 20:33:45

如果图形中的外部参照未显示在输出文件中，则可能需要检查外部参照所在的图层。它们应该是可打印的图层。

如果要导出到图像，可能需要调整分辨率。有时，图像“绘图仪”似乎通过删除整行和整列像素来改变分辨率，这可能会删除整个对象（尤其是细线）。

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